コンプレッサーユニット (4 m3/h)
液体SF6保管用
真空コンプレッサーユニット (15 m3/h)
SF6ガスの回収に 5 コンプレッサーと併用した場合の mbar
吸引ポンプユニット (15 m3/h)
SF6ガス回収用 < 1 コンプレッサーと併用した場合の mbar
ポータブル真空ポンプユニット (16 m3/h, < 1 ミリバール)
空気抜き用
ポータブル真空ポンプユニット (16 m3/h, < 1 ミリバール)
空気抜き用
Miniシリーズ用操作パネル
個々のコンポーネントの取り扱いを容易にするため